洁净棚的洁净度是依据悬浮颗粒物的数量来评定的。具体的标准和等级分类因国家或者地区的不同而有所差异,一般采用的国际标准是ISO 14644-1。该标准将洁净度分为等级1至9,其中等级1是最高级别的洁净度。各等级的洁净度要求如下:
-Class 1:≤10(0.1µm)particles/m³
-Class 2:≤100(0.1µm)particles/m³
-Class 3:≤1,000(0.1µm)particles/m³
-Class 4:≤10,000(0.1µm)particles/m³
-Class 5:≤100,000(0.1µm)particles/m³
-Class 6:≤1,000,000(0.1µm)particles/m³
-Class 7:≤10,000,000(0.1µm)particles/m³
-Class 8:≤100,000,000(0.1µm)particles/m³
-Class 9:>100,000,000(0.1µm)particles/m³
需要注意的是,具体的洁净度要求会根据产品的不同而有所不同。因此在实际应用中,需要针对不同的产品和应用场景确定具体的洁净度要求,并对相应的洁净棚进行设计、建设、运营和维护。