洁净棚的测量标准主要基于ISO 14644-1标准,该标准对洁净室的洁净度进行了分类,从而方便实施、测试和记录。根据该标准,对于不同的洁净度硬件及控制要求,需要使用不同的设备测量。以下是常见的测量设备和标准:
1.粒子计数器:用于测量空气中的颗粒数目。根据ISO 14644-1标准,空气中颗粒的浓度应该按照每立方米的最大颗粒数进行统计。例如,对于Class 5(ISO 5)级别的洁净室,每立方米的最大颗粒数应该小于100。
2.风速仪:用于测量空气流速,以确保洁净棚内部空气的流动符合设计要求。根据ISO 14644-1标准,洁净棚中的空气流速应该在某一特定的范围内。
3.温湿度计:用于测量洁净棚内部的温度和湿度。根据各行业的标准和要求可能略有不同,一般洁净棚内部的温度和湿度需要根据生产、测试和储存的产品要求来进行控制。
4.压差计:用于测量洁净棚中的正负压差。正负压差是洁净棚中,压力空间之间的压力差,控制这个差值可以有效地保证洁净棚的洁净度。
判定洁净棚的洁净度通常基于不同级别洁净度的颗粒数及各方面参数的监控测量结果。标准要求每个级别的洁净度都应该满足特定粒子数和压差范围等要求。如果经常对洁净棚的各项参数进行测量和监控,以及及时对参数不正常或发生趋势变化的洁净棚进行及时维修。