洁净室的通风系统是确保洁净室内空气质量的关键组成部分。通风系统的设计旨在控制空气流动、过滤空气、控制温湿度，并将污染物排出洁净室。
通风系统通常包括以下组件：
1.空气处理单元（AHU）：空气处理单元是洁净室通风系统的核心部分。AHU负责过滤、冷却或加热、加湿或除湿空气，并将过滤后的洁净空气输送到洁净室内。它通常包括风机、加热器、冷凝器、过滤器和湿度控制设备等。
2.高效空气过滤器（HEPA过滤器）：洁净室的通风系统会安装一系列高效空气过滤器，用于去除空气中的微小颗粒和粉尘。HEPA过滤器能够捕捉尺寸为0.3微米的颗粒，并确保洁净室内的空气质量达到所需的洁净级别。
3.空气供应和回风口：空气处理单元将过滤后的洁净空气通过供应口输入洁净室。在洁净室内，空气会经过房间内的工作区域，吸收或带走污染物，然后通过回风口回到空气处理单元进行再循环或排放。
4.风速控制系统：洁净室中的通风系统需要根据洁净室的级别和特定要求来控制空气流动速度。通常使用调速风机和风量调节装置来控制洁净室内的风速，以确保适当的气流和排风。
5.温湿度控制装置：洁净室通风系统中的温湿度控制装置用于维持洁净室内的恒定温度和湿度。这可以通过加热、冷却、加湿和除湿等方法来实现。
6.气流平衡控制系统：洁净室需要维持正压、负压或中性压力环境，以防止外部污染物进入洁净室或洁净室内污染物泄漏。气流平衡控制系统通过调节供风和排风量来维持洁净室的气压平衡。
以上是洁净室通风系统的一般组件，具体的设计会根据洁净室的级别、应用领域和特殊要求进行调整。在运行过程中，还需要定期检查和维护通风系统，以确保其正常运行和洁净度要求的满足。